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真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用

[ 2013-07-09 ]

1.真空閥門開關(guān)氣路,如圖13-1所示,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開時,機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當(dāng)閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽空,此時氣流流經(jīng)擴散泵??梢姡y門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng)路線。

2.控制氣流大小,調(diào)節(jié)真空度。在圖13-1中,調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度,即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小;關(guān)閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。

3.定量充氣,如圖13-2所示,在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。

真空系統(tǒng)示意圖

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